螺桿泵的工作循環(huán)可分為吸氣,、壓縮和排氣三個(gè)過(guò)程,。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),，每對(duì)相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán),，現(xiàn)以其中的一對(duì)齒來(lái)說(shuō)明,。

1. 吸氣過(guò)程

　　下圖示出螺桿泵的吸氣過(guò)程,，所研究的一對(duì)齒用箭頭標(biāo)出,。在圖中，陽(yáng)轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針?lè)较蛐�轉(zhuǎn),，陰轉(zhuǎn)子按順時(shí)針?lè)较蛐�轉(zhuǎn)。圖中的轉(zhuǎn)子端面是吸氣端面,。

圖a示出吸氣過(guò)程即將開(kāi)始時(shí)的轉(zhuǎn)子位置,。在這一時(shí)刻,，這一對(duì)齒前端的型線完全嚙合，且即將與吸氣口連接,。隨著轉(zhuǎn)子開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng),，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個(gè)齒間容積的擴(kuò)大,，在其內(nèi)部形成了一定的真空,，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中,，如圖b中陰影部分所示,。在隨后的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，陽(yáng)轉(zhuǎn)子齒不斷從陰轉(zhuǎn)子齒的齒槽中脫離出來(lái),，齒間容積不斷擴(kuò)大,，并與吸氣孔口保持連通。

吸氣過(guò)程結(jié)束時(shí)的轉(zhuǎn)子位置如圖c所示,，其最顯著的特點(diǎn)是齒間容積達(dá)到最大值,。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，所研究的齒間容積不會(huì)再增加,。齒間容積在此位置與吸氣孔口斷開(kāi),，吸氣過(guò)程結(jié)束。

2 壓縮過(guò)程

　　下圖示出螺桿泵的壓縮過(guò)程,。圖中的轉(zhuǎn)子端面是排氣端面,。在這里，陽(yáng)轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針?lè)较蛐�轉(zhuǎn),，陰轉(zhuǎn)子沿逆時(shí)針?lè)较蛐�轉(zhuǎn),。

　　圖a示出螺桿泵壓縮過(guò)程即將開(kāi)始時(shí)的轉(zhuǎn)子位置。此時(shí)氣體被轉(zhuǎn)子齒和機(jī)殼包圍在一個(gè)封閉的空間中,，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合就要開(kāi)始減小,。 隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小,。被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小,，導(dǎo)致壓力升高，從而實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮過(guò)程,，如圖b所示,。壓縮過(guò)程可一直持續(xù)到齒間容積即將與排氣孔口連通之前。如圖c所示,。

3 排氣過(guò)程

　　下圖示出螺桿泵的排氣過(guò)程,。齒間容積與排氣孔口連通后，即開(kāi)始排氣過(guò)程,。隨著齒間容積的不斷縮小,，具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣孔口被排出,，如圖a

　　所示。這個(gè)過(guò)程一直持續(xù)到齒末端的型線完全嚙合,，如圖b所示,。此時(shí)，齒間容積內(nèi)的氣體通過(guò)排氣孔口被完全排出,，封閉的齒間容積的體積變?yōu)榱恪?/span>

　�,、倏煽啃愿摺Ｂ輻U式干式真空泵零部件少,，沒(méi)有易損件,，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長(zhǎng),。

　�,、诓僮骶S護(hù)方便。

　�,、蹌�(dòng)力平衡性好,。螺桿式干式真空泵沒(méi)有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行,。

　�,、苓m應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn),，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速,，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.

　　⑤多相混輸,。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙,，因而可抽除腐蝕性、有毒,、含有粉塵,、可凝性蒸汽等多種氣體。

　　螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子,、核能,、化工、醫(yī)藥,、食品工業(yè)等領(lǐng)域,。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器,、蝕刻,、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,，在脂肪酸生產(chǎn)中用來(lái)消除水污染,，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體,，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無(wú)菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料,、香精濃縮，食品包裝等,。應(yīng)用范圍極為廣泛,。具體如下：

　　具體應(yīng)用：干燥處理、真空蒸餾,、分子蒸餾,、溶劑的回收、油氣回收,、工廠普通真空,、電子、真空鍍膜,、航空,、核工業(yè)領(lǐng)域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體,、腐蝕性氣體,，尤其能滿足對(duì)獲得清潔真空要求較高的環(huán)境。 具體應(yīng)用：真空鍍膜,、真空蒸餾,、真空干燥、拉單晶,、特氣制造,、離子刻蝕等。

　　紡織,、冶金等行業(yè) 在氨綸,、芳綸、纖維,、冶金等相關(guān)工藝中應(yīng)用干式真空泵,， 具體應(yīng)用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等,。

　　一類是以半導(dǎo)體行業(yè)為代表,，要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護(hù)工件免受污染,。對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個(gè)等級(jí),。①清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣,；②中等條件下的抽氣,，抽除工藝過(guò)程的反應(yīng)氣體,，但無(wú)固體顆粒物；③惡劣條件下的抽氣,，抽除化學(xué)反應(yīng)物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物,。

另一類是以石化行業(yè)為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體,，或腐蝕性氣體,，或有毒氣體，或含有微塵的氣體,。螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子,、核能、化工,、醫(yī)藥,、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片,、制造液晶顯示器,、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程,。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,，在脂肪酸生產(chǎn)中用來(lái)消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體,，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無(wú)菌條件,，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮,，食品包裝等

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