螺桿泵的工作循環(huán)可分為吸氣,、壓縮和排氣三個過程,。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán),，現(xiàn)以其中的一對齒來說明,。

1. 吸氣過程

　　下圖示出螺桿泵的吸氣過程，所研究的一對齒用箭頭標出,。在圖中,，陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)子按順時針方向旋轉(zhuǎn),。圖中的轉(zhuǎn)子端面是吸氣端面。

圖a示出吸氣過程即將開始時的轉(zhuǎn)子位置,。在這一時刻,，這一對齒前端的型線完全嚙合，且即將與吸氣口連接,。隨著轉(zhuǎn)子開始轉(zhuǎn)動,，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大,，在其內(nèi)部形成了一定的真空,，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中,，如圖b中陰影部分所示,。在隨后的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中，陽轉(zhuǎn)子齒不斷從陰轉(zhuǎn)子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴大,，并與吸氣孔口保持連通,。

吸氣過程結(jié)束時的轉(zhuǎn)子位置如圖c所示，其最顯著的特點是齒間容積達到最大值,。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),，所研究的齒間容積不會再增加。齒間容積在此位置與吸氣孔口斷開,，吸氣過程結(jié)束,。

2 壓縮過程

　　下圖示出螺桿泵的壓縮過程。圖中的轉(zhuǎn)子端面是排氣端面,。在這里,，陽轉(zhuǎn)子沿順時針方向旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)子沿逆時針方向旋轉(zhuǎn),。

　　圖a示出螺桿泵壓縮過程即將開始時的轉(zhuǎn)子位置,。此時氣體被轉(zhuǎn)子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合就要開始減小,。 隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小,，導致壓力升高,，從而實現(xiàn)氣體的壓縮過程，如圖b所示,。壓縮過程可一直持續(xù)到齒間容積即將與排氣孔口連通之前,。如圖c所示。

3 排氣過程

　　下圖示出螺桿泵的排氣過程,。齒間容積與排氣孔口連通后,，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小,，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出,，如圖a

　　所示。這個過程一直持續(xù)到齒末端的型線完全嚙合,，如圖b所示,。此時，齒間容積內(nèi)的氣體通過排氣孔口被完全排出,，封閉的齒間容積的體積變?yōu)榱恪?/span>

　�,、倏煽啃愿摺Ｂ輻U式干式真空泵零部件少,，沒有易損件,，因此它運轉(zhuǎn)可靠,，壽命長。

　�,、诓僮骶S護方便,。

　　③動力平衡性好,。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力,，機器可平穩(wěn)地高速運行。

　�,、苓m應性強,。螺桿式干式真空泵具有強制輸氣的特點，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速,，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.

　�,、荻嘞嗷燧敗Ｓ捎诼輻U式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙,，因而可抽除腐蝕性,、有毒、含有粉塵,、可凝性蒸汽等多種氣體,。

　　螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能,、化工,、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域,。在半導體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片,、制造液晶顯示器、蝕刻,、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程,。在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染,，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體,，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料,、香精濃縮，食品包裝等,。應用范圍極為廣泛,。具體如下：

　　具體應用：干燥處理、真空蒸餾,、分子蒸餾,、溶劑的回收,、油氣回收、工廠普通真空,、電子,、真空鍍膜、航空,、核工業(yè)領(lǐng)域 能夠抽除普通空氣,，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體,，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環(huán)境,。 具體應用：真空鍍膜、真空蒸餾,、真空干燥,、拉單晶、特氣制造,、離子刻蝕等,。

　　紡織、冶金等行業(yè) 在氨綸,、芳綸,、纖維、冶金等相關(guān)工藝中應用干式真空泵,， 具體應用：真空脫泡,、VOD真空吹氧脫碳法等。

　　一類是以半導體行業(yè)為代表,，要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零,，以保護工件免受污染。對半導體行業(yè)中應用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個等級,。①清潔條件下的抽氣,，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣；②中等條件下的抽氣,，抽除工藝過程的反應氣體,，但無固體顆粒物；③惡劣條件下的抽氣,，抽除化學反應物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物,。

另一類是以石化行業(yè)為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體,，或腐蝕性氣體,，或有毒氣體，或含有微塵的氣體,。螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子,、核能,、化工、醫(yī)藥,、食品工業(yè)等領(lǐng)域,。在半導體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器,、蝕刻,、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染,，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件,，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料,、香精濃縮，食品包裝等

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