1,、低真空：1×105 ～1×102Pa。

2、中真空：1×102~1×10-1Pa,。

3、高真空：1×10-1～1×10-5Pa,。

4,、超高真空：1×10-5～1×10-9 Pa,。

5、極高真空：1×10-9Pa以下,。

  圖13即是該真空系統(tǒng),擴(kuò)散泵串聯(lián)兩個(gè)液氮冷阱,而且真空室和冷阱6能耐400～450℃的烘烤,。在此溫度下,可以清除真空室壁及冷阱壁上吸附的氣體及凝結(jié)的泵油。該系統(tǒng)一般可以得到1.33×10-7Pa的極限真空度,。

1.真空室2.熱偶真空計(jì)3.B-A真空計(jì)4.放氣閥5.超高真空閥6,7.冷阱8.電離真空計(jì)9.擴(kuò)散泵10.前級(jí)管道閥11.前級(jí)阱12.電磁閥13.機(jī)械泵14.超高真空管道閥15.烘烤裝置

圖13 油擴(kuò)散泵超高真空系統(tǒng)

2.渦輪分子泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)

       圖14為該系統(tǒng),。此系統(tǒng)不烘烤可以獲得10-6Pa的真空度,烘烤后的真空度可以達(dá)到10-8Pa。該系統(tǒng)的特點(diǎn)是比較清潔,可構(gòu)成無油超高真空系統(tǒng),。

3.濺射離子泵無油超高真空系統(tǒng)

     圖15為該系統(tǒng)原理圖,。以濺射離子泵為主泵,使用兩個(gè)分子篩泵做預(yù)抽泵,其中一個(gè)分子篩泵用來抽走真空室和濺射離子泵中的大氣壓下的氣體,另一個(gè)用來抽走烘烤及離子泵啟動(dòng)時(shí)放出來的氣體。

      用低溫泵做為主泵,并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵(做預(yù)抽真空泵),。該真空系統(tǒng)也可以用機(jī)械泵做為預(yù)真空泵,但必須在機(jī)械泵的入口管路上設(shè)置油蒸汽捕集器,。

 1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵 4.鈦升華泵 5.超高真空閥 6.放氣閥 7.高真空閥 8.分子篩泵 9.吸附阱 10.機(jī)械泵

圖16 無油超高真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)原理圖

1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵-鈦升華泵組 4.超高真空閘閥 5.冷阱 6.擴(kuò)散泵 7.前級(jí)管道閥 8.超高真空管道閥 9.放氣閥 10.機(jī)械真空泵

圖17 組合超高真空系統(tǒng)